Simulation de la gravure dans les décharges de chlore à l'aide d'un modèle intégré d'évolution des caractéristiques et de plasma (Nasa Technical Reports Server (Ntrs))

Titre original :

Simulation of Etching in Chlorine Discharges Using an Integrated Feature Evolution-Plasma Model (Nasa Technical Reports Server (Ntrs))

Contenu du livre :

Le NASA Technical Reports Server (NTRS) héberge un demi-million de publications qui constituent un moyen d'information précieux pour les chercheurs, les enseignants, les étudiants et le grand public.

Ces documents sont tous liés à l'aérospatiale et contiennent de nombreuses informations scientifiques et techniques créées ou financées par la NASA. Parmi les types de documents, citons les documents de conférence, les rapports de recherche, les documents de réunion, les articles de journaux, etc.

Il s'agit de l'un de ces documents.

Autres informations sur le livre :

• ISBN : 9781289148836
• Auteur : Nasa Technical Reports Server
• Éditeur : Bibliogov
• Langue : anglais
• Reliure : Broché