Avis des lecteurs
Résumé:Ce livre est très apprécié des utilisateurs pour son introduction claire à l'ellipsométrie, fournissant des connaissances pratiques et des aperçus particulièrement bénéfiques pour les débutants. Il comprend des concepts de base, des équations et des études de cas, ce qui en fait un guide complet, bien qu'il soit limité aux mesures d'une seule longueur d'onde.
Avantages:⬤ Excellente introduction pour les novices en ellipsométrie.
⬤ Explications claires des concepts fondamentaux et des équations de base.
⬤ Approche pratique des difficultés expérimentales.
⬤ Des études de cas précieuses pour appliquer les connaissances.
⬤ Bon prix et livraison rapide.
⬤ Limité aux instruments à longueur d'onde unique et à angle unique.
⬤ Ne couvre pas l'ellipsométrie spectroscopique, qui est de plus en plus courante.
(basé sur 7 avis de lecteurs)
Titre original :
A User's Guide to Ellipsometry
Contenu du livre :
Ce texte sur l'optique destiné aux étudiants de troisième cycle explique comment déterminer les propriétés et les paramètres des matériaux pour des substrats inaccessibles et des films inconnus, ainsi que comment mesurer des films extrêmement minces. Ses 14 études de cas illustrent les concepts et renforcent les applications de l'ellipsométrie - en particulier en relation avec l'industrie des semi-conducteurs et les études impliquant la corrosion et la croissance des oxydes.
A User's Guide to Ellipsometry permettra aux lecteurs d'aller au-delà des applications clés en main limitées des ellipsomètres. En plus des discussions exhaustives sur la mesure de l'épaisseur du film et des constantes optiques dans le film, il examine également les trajectoires des paramètres ellipsométriques Del et Psi et la façon dont les changements dans les matériaux affectent les paramètres.
Ce volume aborde également l'utilisation du polysilicium, un matériau couramment utilisé dans l'industrie microélectronique, et les effets de la rugosité du substrat. Trois annexes fournissent des références utiles.
Autres informations sur le livre :
| ISBN : | 9780486450285 |
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| Éditeur : | |
| Reliure : | Broché |
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