Ellipsométrie et réflectométrie spectroscopiques : Guide de l'utilisateur

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Titre original :

Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide

Contenu du livre :

L'ellipsométrie permet de mesurer l'épaisseur et les propriétés optiques des films minces.

Ces dernières années, la spectroscopie ellipsométrique, tout comme la réflectométrie étroitement liée, a conquis les laboratoires industriels. Cela crée le besoin d'une introduction pratique pour un public interdisciplinaire de scientifiques des matériaux, de physiciens, de chimistes et d'électrotechniciens, comme c'est le cas avec ce livre.

(04/99)