Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation
Les auteurs décrivent de manière uniforme et exhaustive tous les aspects importants des processus de croissance épitaxiale de films solides sur des substrats cristallins, par exemple les processus dans lesquels les atomes du film en croissance imitent la disposition des atomes du substrat.
L'accent est mis sur une présentation suffisamment fondamentale et sans équivoque du sujet sous la forme d'une revue facile à lire. Une grande partie de ce livre se concentre sur les problèmes de l'hétéroépitaxie.
Les techniques de croissance épitaxiale les plus importantes qui sont actuellement largement utilisées dans la recherche fondamentale ainsi que dans les processus de fabrication de dispositifs sont présentées et discutées en détail.
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Dernière modification: 2024.11.14 07:32 (GMT)