Un profilomètre optique pour les conditions de vide ultra poussé - Conception, construction et mise en œuvre

Titre original :

An Optical Profilometer for Ultra HighVacuum Conditions - Design, Construction, and Implementation

Contenu du livre :

Pour comprendre notre monde, il est essentiel de connaître les lois de la nature. Au fil des siècles, ces lois ont été déduites de mesures, mais il reste encore beaucoup de questions ouvertes.

L'une de ces questions est la mesure exacte des profils dans des conditions très propres, qui est ici résolue. Ce livre décrit en détail la conception, la construction et la mise en œuvre d'un profilomètre optique capable de mesurer des profils de surface complexes dans des conditions de vide très poussé. Le profil de la surface (dans le vide) est obtenu en balayant un capteur optique à travers un hublot.

L'instrument a été conçu dans le but de caractériser des plaquettes de silicium déformées électrostatiquement. Pour plier les plaquettes sélectionnées dans la forme requise, un champ électrique réglable allant jusqu'à 25 MV/m est nécessaire.

Un environnement UHV propre est nécessaire pour éviter une percée électrique du champ électrostatique. Ce livre devrait intéresser les scientifiques, les ingénieurs et tous ceux qui s'intéressent aux mesures.

Autres informations sur le livre :

• ISBN : 9783639055559
• Auteur : Katrin Fladischer
• Éditeur : Blues Kids Of Amer
• Langue : anglais
• Reliure : Broché