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Titre original :
III-V Integrated Circuit Fabrication Technology
Contenu du livre :
Le traitement du GaAs a atteint un stade de maturité.
De nouveaux composés semi-conducteurs apparaissent et domineront la recherche future sur les matériaux et les dispositifs, même si les techniques de traitement utilisées pour le GaAs resteront pertinentes. Ce livre couvre tous les aspects de l'état actuel de l'art du traitement des III-V, en mettant l'accent sur les HBT.
Il s'adresse aux ingénieurs praticiens, aux étudiants diplômés et aux ingénieurs qui découvrent le domaine du traitement des circuits intégrés à semi-conducteurs III-V. L'objectif principal du livre est de discuter de tous les aspects du traitement des dispositifs actifs et passifs, de la croissance cristalline au traitement de la face arrière, y compris la lithographie, la gravure et le dépôt de film.
Autres informations sur le livre :
| ISBN : | 9789814669306 |
| Auteur : | |
| Éditeur : | |
| Langue : | anglais |
| Reliure : | Relié |
| Année de publication : | 2016 |
| Nombre de pages : | 716 |
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