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Titre original :
Focused Ion Beam Systems: Basics and Applications
Contenu du livre :
Le système de faisceau d'ions focalisés (FIB) est un outil important pour comprendre et manipuler la structure des matériaux à l'échelle nanométrique.
En combinant ce système avec un faisceau d'électrons, on obtient un DualBeam - un système unique qui peut servir d'outil d'imagerie, d'analyse et de modification d'échantillons. Présentant les principes, les capacités, les défis et les applications de la technique FIB, ce volume édité, publié pour la première fois en 2007, couvre de manière exhaustive la technologie du faisceau d'ions, y compris le DualBeam.
Les principes de base des faisceaux d'ions et des systèmes à deux faisceaux, leur interaction avec les matériaux, la gravure et le dépôt sont tous couverts, ainsi que la caractérisation in situ des matériaux, la préparation des échantillons, la reconstruction tridimensionnelle et les applications dans les biomatériaux et les nanotechnologies. Les matériaux nanostructurés devenant de plus en plus importants dans les dispositifs micromécaniques, électroniques et magnétiques, cette revue complète de la gamme des méthodes de faisceau d'ions, de leurs avantages et du meilleur moment pour les mettre en œuvre est une ressource précieuse pour les chercheurs en science des matériaux, en génie électrique et en nanotechnologie.
