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Fundamentals of Microelectromechanical Systems (Mems)
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Un guide complet de l'ingénierie, de la fabrication et des applications des MEMS
Ce guide d'ingénierie complet montre, étape par étape, comment incorporer la technologie microélectromécanique (MEMS) de pointe pour permettre la fonctionnalité de l'internet des objets (IoT) et de l'intelligence artificielle (AI) dans vos conceptions. Rédigé par un enseignant expérimenté et un expert en microélectronique, Fundamentals of Microelectromechanical Systems (MEMS) explique clairement les dernières technologies et méthodes. Des exemples concrets, des illustrations et des questions et problèmes approfondis renforcent les thèmes clés tout au long de l'ouvrage. Les lecteurs pourront également se pencher sur l'avenir des MEMS dans le monde du travail et explorer la recherche et le développement dans ce domaine.
La couverture comprend :
⬤ Microfabrication de base.
⬤ Micro-usinage.
⬤ Principes de transduction.
⬤ Les MEMS optiques et à radiofréquence.
⬤ Mécanique et capteurs inertiels.
⬤ Propriétés des films minces et capteurs SAW/BAW.
⬤ Capteurs de pression et microphones.
⬤ Films piézoélectriques.
⬤ Propriétés des matériaux exprimées sous forme de tenseur.
⬤ Systèmes microfluidiques et BioMEMS.
⬤ MEMS de puissance.
⬤ Bruits électroniques, circuits d'interface et oscillateurs.
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Dernière modification: 2024.11.14 07:32 (GMT)