Titre original :
Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications
Contenu du livre :
Cet ouvrage passe en revue les principales techniques de métrologie de la déformation des semi-conducteurs et celles qui ont été récemment mises au point.
La métrologie de la déformation des semi-conducteurs est apparue ces dernières années comme un sujet de grand intérêt pour les chercheurs impliqués dans la caractérisation des couches minces et des dispositifs à l'échelle nanométrique. Ce livre utilise une approche didactique pour expliquer les principes et les applications de chaque technique, spécifiquement adaptée aux étudiants de troisième cycle et aux chercheurs postdoctoraux.
Les sujets sélectionnés comprennent les techniques optiques, à faisceau d'électrons, à faisceau d'ions et à rayons X synchrotron. Contrairement aux références précédentes, ce livre traite spécifiquement de la métrologie des déformations appliquée aux dispositifs à semi-conducteurs, de manière à la fois approfondie et ciblée.
Autres informations sur le livre :
| ISBN : | 9781608055548 |
| Auteur : | |
| Éditeur : | |
| Langue : | anglais |
| Reliure : | Broché |
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