Titre original :
Piezoelectric MEMS
Contenu du livre :
Les transducteurs électromécaniques basés sur des couches piézoélectriques et des films minces trouvent continuellement leur place dans les systèmes micro-électromécaniques (MEMS). Les transducteurs piézoélectriques se caractérisent par une réponse linéaire à la tension, sans comportement d'encliquetage, et peuvent fournir des forces attractives et répulsives. Cela permet d'éliminer les limitations physiques inhérentes à l'approche des transducteurs électrostatiques couramment utilisée, tout en conservant des propriétés bénéfiques telles qu'un fonctionnement à faible consommation d'énergie. Afin d'exploiter tout le potentiel des MEMS piézoélectriques, les efforts de recherche interdisciplinaires vont de l'étude des matériaux piézoélectriques avancés à la conception de nouveaux capteurs et actionneurs MEMS piézoélectriques, en passant par l'intégration de dispositifs PiezoMEMS dans des systèmes complets à faible consommation d'énergie. Dans ce numéro spécial, l'état actuel de ce domaine de recherche passionnant sera présenté, couvrant un large éventail de sujets, y compris, mais sans s'y limiter :
- La recherche expérimentale et théorique sur les matériaux piézoélectriques tels que AlN, ScAlN, ZnO ou PZT, PVDF avec un accent particulier sur l'application des dispositifs MEMS.
- Techniques de dépôt et de synthèse des matériaux piézoélectriques permettant l'intégration de ces matériaux dans les processus de fabrication des MEMS.
- Modélisation et simulation de dispositifs et systèmes MEMS piézoélectriques.
- Résonateurs MEMS piézoélectriques pour la mesure de grandeurs physiques telles que la masse, l'accélération, la vitesse de lacet, la pression et la viscosité ou la densité des liquides.
- Dispositifs optiques MEMS, tels que les micro-miroirs de balayage et les commutateurs optiques, basés sur des MEMS piézoélectriques.
- Dispositifs acoustiques, tels que SAW, BAW ou FBAR et transducteurs acoustiques, basés sur des MEMS piézoélectriques, comme les microphones ou les haut-parleurs.
- Dispositifs de collecte d'énergie piézoélectrique.
- Aspects spécifiques du conditionnement des dispositifs et systèmes piézoélectriques.
- Systèmes à faible consommation ou à consommation nulle, comprenant des capteurs à faible consommation combinés à des dispositifs de collecte d'énergie, dont l'un au moins est basé sur des MEMS piézoélectriques.
Autres informations sur le livre :
| ISBN : | 9783038970057 |
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| Langue : | anglais |
| Reliure : | Broché |
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