Six Degree of Freedom Active Vibration Isolator Using Voice Coil Motor
Les instruments de mesure de précision avec une résolution de l'ordre du nanomètre sont presque toujours sensibles aux perturbations transmises principalement par les vibrations du sol ainsi que par d'autres sources telles que les bruits acoustiques et les vibrations mécaniques directes.
Même si l'instrument lui-même est conçu pour gérer de telles perturbations, les chercheurs dans ce domaine ont toujours besoin d'une méthode intelligente pour éliminer correctement ce problème afin de rendre leurs résultats de mesure plus fiables. Dans cet ouvrage, la solution proposée consiste à utiliser un système hybride actif-passif d'isolation des vibrations entre l'instrument et le sol afin d'éliminer les vibrations transmises par le sol ainsi que les perturbations directes transmises par les pièces mobiles de l'instrument à la plaque de support de la charge utile dans les six degrés de liberté.
La raison d'être de cette solution hybride est de tirer parti à la fois de l'étage passif et de l'étage actif. Cette recherche propose donc de réaliser un système passif actif hybride à six axes qui peut servir d'isolateur de micro-vibrations pour les instruments de mesure de précision tels que les microscopes à sonde à balayage, ainsi que pour certains moteurs linéaires de petite dimension.
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Dernière modification: 2024.11.14 07:32 (GMT)