Introduction à la nanométrologie par faisceau d'ions focalisés

Titre original :

Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology

Contenu du livre :

Ce livre décrit les techniques et les microscopes à faisceau d'ions focalisés modernes et la manière dont ils peuvent être utilisés pour faciliter la métrologie des matériaux et comme outils pour la fabrication de dispositifs qui, à leur tour, sont utilisés dans de nombreux autres aspects de la métrologie fondamentale.

Autres informations sur le livre :

• ISBN : 9781643278469
• Auteur : C. Cox David
• Éditeur : Morgan & Claypool
• Langue : anglais
• Reliure : Relié