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Titre original :
Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology
Contenu du livre :
Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology, troisième édition, fournit une discussion approfondie sur le nettoyage, la gravure et le conditionnement des surfaces pour les applications semi-conductrices. La physique et la chimie fondamentales associées au traitement par voie humide et par plasma sont passées en revue, y compris les aspects liés aux surfaces et aux colloïdes. Cette édition révisée inclut les développements des dix dernières années pour répondre aux besoins d'une industrie en constante évolution, en abordant les nouvelles technologies et les nouveaux matériaux, tels que le germanium et les semi-conducteurs composés III-V, et en passant en revue les différentes techniques et méthodes de nettoyage et de conditionnement de surface. Les chapitres comprennent de nombreux exemples de techniques de nettoyage et de leurs résultats.
Le livre aide le lecteur à comprendre le processus qu'il utilise pour son application de nettoyage et pourquoi le processus sélectionné fonctionne. Par exemple, la discussion sur le mécanisme et la physique de la contamination, métallique, particulaire et organique, comprend des informations sur l'élimination des particules, la passivation des métaux, le silicium à terminaison hydrogène et d'autres processus auxquels les ingénieurs sont confrontés dans leur environnement de travail. En outre, le manuel aide le lecteur à comprendre les méthodes analytiques d'évaluation de la contamination.
Le livre est organisé dans un ordre qui segmente les différentes techniques de nettoyage, le traitement aqueux et le traitement à sec. Les sections comprennent d'abord la théorie, la chimie et la physique, puis entrent dans le détail des différentes méthodes de nettoyage, en particulier l'élimination des particules et des métaux, entre autres.
Autres informations sur le livre :
| ISBN : | 9780323510844 |
| Auteur : | |
| Éditeur : | |
| Langue : | anglais |
| Reliure : | Broché |
| Année de publication : | 2018 |
| Nombre de pages : | 760 |
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