Titre original :
Handbook of Semiconductor Silicon Technology
Contenu du livre :
Ce manuel est un résumé complet de la science, de la technologie et de la fabrication des matériaux semi-conducteurs en silicium. Toutes les propriétés connues du silicium sont détaillées.
Un ensemble complet de diagrammes de phases binaires est inclus. Les aspects pratiques tels que la manipulation des matériaux, la sécurité, la réduction des impuretés et des défauts sont également abordés en profondeur. Les principes fondamentaux dans les domaines des composés précurseurs du silicium, du polysilicium, de la croissance des cristaux de silicium, de la fabrication des plaquettes, de l'épitaxie et du dépôt en phase vapeur (CVD) sont abordés par des experts dans ces domaines.
Les propriétés des matériaux abordées comprennent les propriétés électriques, optiques et mécaniques, les impuretés en profondeur et la durée de vie des porteurs, la thermochimie, ainsi que des sections spécifiques sur les impuretés d'oxygène, de carbone et d'azote. L'ouvrage contient un grand nombre de références, des tableaux des constantes des matériaux et des propriétés du silicium, ainsi qu'une présentation de l'état de l'art en matière de fabrication des matériaux.
Autres informations sur le livre :
| ISBN : | 9780815512370 |
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| Éditeur : | |
| Langue : | anglais |
| Reliure : | Relié |
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