Titre original :
Fundamental of micro/nano fabrication
Contenu du livre :
Ce livre décrit le processus de croissance de l'oxyde humide thermique dépendant de la contrainte. Le taux d'oxydation du silicium est fonction de l'orientation du cristal et de l'angle d'intersection des plans.
Les processus de micro-usinage de la surface du silicium sont décrits pour créer une structure mécanique autonome et des caractéristiques tridimensionnelles uniques. Un micro-usinage et une gravure en vrac doivent être pris en compte lors de la microfabrication. Le schéma et la micrographie MEB décrivent le métal (aluminium) pulvérisé sur la sonde pyramidale en porte-à-faux en oxyde pour former une nano-ouverture métallique.
Le concept théorique du champ proche et du champ lointain a été expliqué à l'aide d'un réseau de cantilevers NSOM triangulaires et rectangulaires fabriqués avec une sonde NSOM. Afin de réduire le niveau de bruit et d'assurer une transmission optique élevée à travers la sonde, la sonde NSOM en porte-à-faux conçue comporte du Si en vrac sous la sonde.
La transmission optique à travers la sonde NSOM et la fréquence de résonance permettent de caractériser les principaux composants des cantilevers. La fréquence de résonance des cantilevers varie en fonction de leurs dimensions.
La transmission optique est mesurée à travers l'ouverture de la sonde NSOM.
Autres informations sur le livre :
| ISBN : | 9783639703825 |
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| Langue : | anglais |
| Reliure : | Broché |
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