Titre original :
Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers
Contenu du livre :
Cet ouvrage présente les principales étapes de la fabrication des plaquettes, des cristaux aux premières plaquettes.
Ce livre présente d'abord la physique, la métrologie associée, la modélisation du processus et les exigences de qualité, puis il aborde les techniques de formation et de préparation de la surface des gaufrettes. L'ensemble est complété par un chapitre sur la recherche et les défis futurs en matière de fabrication de plaquettes.
