Microwave Discharges - Theory & Applications (Plasma Physics Series)
La plupart des auteurs de cet ouvrage sont des spécialistes reconnus dans différents domaines de la physique des plasmas à micro-ondes, de la technique et du traitement des plasmas.
Les sujets abordés couvrent tous les problèmes liés à la théorie, aux expériences et aux applications des décharges à micro-ondes et présentent les dernières tendances en matière de théorie, de modélisation et de diagnostic des décharges, de méthodes de génération de plasma à micro-ondes, de décharges à micro-ondes à haute et basse pression, d'interaction des micro-ondes avec un plasma, d'applications du plasma à micro-ondes (traitement de surface, gravure, dépôt de film, croissance de structures, sources de lumière, chimie analytique, etc. ) Nous espérons que ce livre sera utile à tous les spécialistes qui travaillent dans le domaine de la physique et du traitement des plasmas à basse température.
| ISBN : | 9781934939086 |
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| Langue : | anglais |
| Reliure : | Relié |
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