Titre original :
Chemistry of Atomic Layer Deposition
Contenu du livre :
Ce livre aidera les chimistes et les non-chimistes à comprendre les principes fondamentaux de la chimie des surfaces et de la conception des précurseurs, ainsi que la manière dont ces précurseurs déterminent les processus de dépôt de couches atomiques et dont l'interaction entre la surface et le précurseur régit les processus de dépôt de couches atomiques.
Les principes sous-jacents du dépôt de couches atomiques reposent sur la chimie d'un précurseur avec une surface.
Autres informations sur le livre :
| ISBN : | 9783110712513 |
| Auteur : | |
| Éditeur : | |
| Langue : | anglais |
| Reliure : | Broché |
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