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Mems Silicon Oscillating Accelerometers and Readout Circuits
La plupart des accéléromètres MEMS actuellement sur le marché sont des accéléromètres capacitifs basés sur le mécanisme de détection de déplacement. Ce livre est destiné à couvrir les développements récents des accéléromètres oscillants au silicium MEMS (SOA), également appelés accéléromètres résonnants MEMS.
Contrairement à l'accéléromètre capacitif, l'accéléromètre oscillant au silicium MEMS est basé sur le mécanisme de détection de la force, où l'accélération d'entrée est convertie en une fréquence de sortie. MEMS Silicon Oscillating Accelerometers and Readout Circuits se compose de six chapitres et couvre à la fois le capteur MEMS et le circuit de lecture, et fournit une couverture approfondie de la conception et de la modélisation du MEMS SOA avec plusieurs prototypes récemment rapportés.
Ce livre n'est pas seulement utile aux chercheurs et aux ingénieurs qui connaissent bien le sujet, mais il s'adresse également à ceux qui s'intéressent de manière générale aux capteurs inertiels MEMS. L'ouvrage comprend de nombreuses références qui fournissent des informations complémentaires sur ce sujet.
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Dernière modification: 2024.11.14 07:32 (GMT)